압력 센서의 종류- Ningbo Qingyang Automation Technology Co., Ltd.

압력 센서 액체와 기체의 압력을 측정하는 장치입니다. 압력은 유체가 팽창하는 것을 막는 데 필요한 힘으로, 일반적으로 단위 면적당 힘으로 측정됩니다. 센서는 센서 역할을 하며 적용된 압력에 따라 신호를 생성합니다. 압력 센서에는 여러 가지 유형이 있습니다.

피에조 압력 센서

압전 압력 센서는 센서에 기계적 응력이 가해지면 작은 전압을 생성하여 작동합니다. 진공 게이지 기술 및 산업에서의 일반적인 용도뿐만 아니라 그 이유와 속성을 이해합시다. 이 웨비나에서는 이 혁신적인 압력 센서 기술에 대해 자세히 알아볼 것입니다.

PVDF/PET 직물로 제작할 수 있는 유연한 압전 압력 센서가 개발되었습니다. 상부 전극은 은으로 코팅된 나일론 직물로 구성되고 하부 전극은 ITO 코팅된 PET 필름으로 구성됩니다. 두 전극은 구리선으로 연결됩니다. 장치의 감도를 모니터링하기 위해 장치를 PI 필름으로 캡슐화했습니다. 출력 전압과 전류는 나노볼트미터와 갈바노스타트 시스템으로 측정됩니다.

패브릭 기반 압력 센서는 의료용으로 개발되었습니다. 대형 압력 센서로 맞춤화할 수 있으며 기계적 입력 자극의 분포를 모니터링할 수 있습니다. 풀 패브릭 센서는 4 x 3 터치 픽셀을 포함하고 표면적이 1.5 x 1.5 cm2입니다. 각 픽셀은 균일한 응답과 0.51/- 0.04V의 평균 전압 신호를 나타냈습니다. 전극 사이의 전기적 누화를 측정하기 위해 손가락을 직물 위에 놓고 손가락을 각 픽셀 셀에 대고 눌렀습니다.

금속 산화물 반도체 FET(MOSFET) 기반 압력 센서

금속 산화물 반도체 FET(MOSFET) 압력 센서는 압력 감지를 위한 탁월한 선택입니다. 감도, 선형성 및 빠른 응답/복구 특성으로 인해 다양한 산업 및 의료 응용 분야에 탁월한 선택입니다.

MOSFET 압력 센서 제조의 첫 번째 단계는 기존 CMOS/MEMS 프로세스를 사용하여 센서 플랫폼을 제조하는 것입니다. 이 공정에는 리소그래피 및 확산 공정을 위한 6개의 포토마스크가 사용됩니다. 프로세스가 완료되면 개별 센서 칩이 다이싱되어 센서 패키지에 장착됩니다. 그런 다음 와이어 본드를 사용하여 개별 센서를 함께 연결합니다.

MOSFET 압력 센서에는 소스와 드레인의 두 가지 주요 구성 요소가 있습니다. 또한 게이트 전극과 드레인 전극 사이에 절연층이 있습니다. 두 전극은 직렬로 연결되어 있으며 게이트 전극의 압력으로 인해 드레인 전류가 변경됩니다.

진동 와이어 압력 센서

진동 와이어 압력 센서는 공진 주파수가 있는 압력 센서입니다. 공진 주파수는 일반적으로 센서 패키지에 내장된 서미스터에 의해 제어되는 온도에 따라 다릅니다. 온도가 너무 높으면 센서가 충분히 정확하지 않을 수 있습니다. 이를 방지하기 위해 센서를 적절하게 보정해야 합니다.

진동 와이어 압력 센서는 전자기 코일로 인장된 강철 와이어로 구성됩니다. 코일에 의해 유도된 과도 전기 펄스는 전류를 재순환시키는 와이어에 진동을 일으킵니다. 그런 다음 이 신호는 와이어의 장력 또는 구조의 변형을 측정하는 데 사용됩니다.

진동 실린더 압력 센서

진동 실린더 압력 센서는 실린더의 압력을 측정하는 압력 센서입니다. 그것은 실린더 측벽의 움직임을 감지하고 진동 주파수를 결정하는 처리 장치에 신호를 공급하고 측정된 주파수를 다른 부하에서 실린더의 주파수 응답 모델과 비교하는 방식으로 작동합니다. 그런 다음 센서는 이 정보를 사용하여 다이어프램에 적용되는 압력을 결정합니다.

진동 실린더 압력 센서는 건조한 가스가 보정 가스로 사용될 때 가장 정확합니다. 그렇지 않으면 실린더 내 유체의 질량 분포로 인해 불필요한 측정 오류가 발생합니다. 또한 실린더 내에서 움직이는 유체로 인한 관성 효과로 인해 진동이 감소할 수 있습니다.

용량성 압력 센서

용량성 압력 센서는 외부 압력의 변화에 따른 정전 용량의 변화를 측정하여 작동합니다. 정전 용량 변화 대 외부 압력 변화의 기울기를 센서의 감도라고 합니다.

연구자들은 정전식 압력 센서의 감도를 높이는 방법을 모색하고 있습니다. 한 가지 접근 방식은 초박형 유전층으로 적층된 다공성 전도성 나노복합체를 사용하는 것입니다.